专利名称：一种用于固定道波长色散x荧光光谱仪的分光真空室的制作方法
技术领域：
本发明涉及光谱仪领域，特别是指一种用于固定道波长色散X荧光光谱仪的分光
真空室。
背景技术：
同时式固定道波长色散X荧光光谱仪是由四周安装有多个固定元素道，由X射线管产生的原级X射线照射到样品上，样品中的元素受到激发射出特征荧光X射线，并与原级X射线的散射线一起，通过固定元素道(前狭缝、分光盒、后狭缝)进入探测器，进行光电转换，把光子转换成可以测量的电信号脉冲。探测器的输出脉冲经放大器和脉冲高度分析器的幅度甄别后，由计算机软件进行数据处理，输出结果。同时式固定道波长色散X荧光光谱仪的固定道采用的晶体分光形式可以分平晶分光、弯晶分光(弯晶可分为全聚集、对数螺 旋)。平晶不能聚集，需与准直器联合使用，所以体积会比较大，限制了固定元素道的数量。弯晶能将光聚集在点上，要与狭缝联合使用，由于狭缝体积小且是圆管，装配在分光真空室前狭缝就可以多数量的安装。影响同时式固定道波长色散X荧光光谱仪的分光真空室光路结构参数有X射线管的尺寸、标准样品盒尺寸和样品自旋机构的尺寸、光闸的结构尺寸、前狭缝结构尺寸、分光盒结构尺寸、后狭缝结构尺寸、探测器结构尺寸、真空密封等。要想设计出性能优异的X荧光光谱仪，分光真空室一定要设计合理，在追求足够多的固定元素道的同时还要兼顾到机械结构的限制。如光路的传播距离越小，X荧光误差的越少，但机械结构总是需要一定的尺寸，不可能无限制地小，因此，光路参数和结构参数设计时要本着一个相互结合、兼顾和优化的过程，这个过程要考虑的因素很多且工作量大；最重要的是，这个分光真空室设计优化的因素很多，如果考虑不周到会使出现先天不足，要么仪器性能就得不到保障，要么机械结构尺寸过于紧张而造成机械的故障率高，不便于维修和安装。另外分光真空室安装固定元素道的个数由于上述问题而得到限制。所以目前国内出现在小功率同时式固定道波长色散X荧光光谱仪最多配置的固定元素道为10个，国外日本岛津大功率同时式因定道波长色散X荧光光谱仪最多配置的固定元素道为36个，采用的是双层分光真空室。

发明内容
本发明的目的是提出一种用于固定道波长色散X荧光光谱仪的分光真空室，即解决目前固定元素道数量少和结构复杂的问题。本发明的技术方案是这样实现的一种用于固定道波长色散X荧光光谱仪的分光真空室，其包括一个喇叭形的分光真空室壳体，所述壳体的侧壁上均匀地设置有二十个用于安装前狭缝的圆孔，所述圆孔的中轴线与所述壳体的中轴线汇聚于一点，且所述圆孔的中轴线与所述壳体的中轴线之间形成55°夹角。优选地，所述分光真空室壳体的一端开设有X射线管安装孔，另一端设置有光闸安装孔，所述光闸安装孔外部还设置有样品盒与自旋机构安装孔。优选地，所述分光真空室壳体的喇叭口连接有一个圆环平面，所述样品盒与自旋机构安装孔开设于所述圆环平面中心处。优选地，所述分光真空室壳体的喇叭口外径为320mm。优选地,所述圆环平面的外径为350mm。优选地，所述分光真空室壳体与所述圆环平面的总高度为120mm。本发明的有益效果是 本发明充分考虑了现有的X射线管的尺寸、标准样品盒尺寸和样品自旋机构的尺寸、光闸的结构尺寸、前狭缝结构尺寸、分光盒结构尺寸、后狭缝结构尺寸、探测器结构尺寸、真空密封等问题，设计出安装固定元素道个数为20个的分光真空室，使整机性能稳定，易于安装和维护；其光路参数和结构设计相互结合、兼顾优化，故障率低。


为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为本发明分光真空室优选实施例的外部结构示意图；图2为本发明分光真空室优选实施例的剖面结构示意图。
具体实施例方式下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。如图I-图2所示的用于固定道波长色散X荧光光谱仪的分光真空室，其包括一个喇叭形的分光真空室壳体1，所述壳体I的侧壁上均匀地设置有二十个用于安装前狭缝的圆孔2，所述圆孔2的中轴线与所述壳体I的中轴线汇聚于一点，且所述圆孔2的中轴线与所述壳体I的中轴线之间形成图2所示的α=55°的夹角，即圆孔2的中轴线与水平面形成图2中所示的35°角。夹角α可决定圆孔2的中轴线与所述壳体I的中轴线的汇聚点的位置，而这个位置影响着光路的传播距离，光路的传播距离又影响着X荧光误差。汇聚点的位置还可由圆孔2在壳体上的上下位置决定，但二十个圆孔2的位置还受到壳体I本身的形状和结构的限制。故在尽量减少光路的传播距离的原则下，夹角α也影响着圆孔2的位置；由于壳体I为喇叭形，故圆孔2在壳体I上的位置也会影响圆孔2的数量和各圆孔2之间的间隔。因此，本发明的光路参数和结构设计是相互结合、兼顾和优化的过程，既使仪器的性能得到保障，又使仪器的机械结构尺寸合理，故障率低，又便于维修和安装。如图2所示，本实施例的壳体I的一端开设有X射线管安装孔3，另一端设置有光闸安装孔4，所述光闸安装孔4外部还设置有样品盒与自旋机构安装孔5。所述壳体I的喇叭口连接有一个圆环平面6，所述样品盒与自旋机构安装孔5开设于所述圆环平面6的中心处。本优选示例中的分光真空室壳体I的喇叭口外径为320mm，即图I中的直径Dl=320mm,圆环平面6的外径为350mm，即图I中的直径D2=350mm。所述壳体I与圆环平面6的总高度H为120mm。本发明的用于固定道波长色散X荧光光谱仪的分光真空室是一个独立的分光真空室，安装前狭缝的圆孔2与分光真空室平面角度为35°，所有的安装前狭缝的圆孔2及X射线管出射线口中心聚焦在图I中的S点，该S点即测试样品的中心点，与圆孔2相配合的是弯晶分光器系统，弯晶分光器系统包括前狭缝、分光盒、弯晶、晶体托板、晶体调节机构、后狭缝等结构，该结构属于现有技术，在此不再赘述。在X射线管安装孔3处还设置有密封圈和螺丝孔，以便安装射线管。在圆孔2处周围还设置有用于安装固定元素道的前狭缝的固定螺丝孔。当然固定方式并不限于本实施 例中的螺丝固定，也可采用现有技术中螺丝以外的其它固定件。本发明充分考虑了现有的X射线管的尺寸、标准样品盒尺寸和样品自旋机构的尺寸、光闸的结构尺寸、前狭缝结构尺寸、分光盒结构尺寸、后狭缝结构尺寸、探测器结构尺寸、真空密封等问题，设计出安装固定元素道个数为20个的分光真空室，使整机性能稳定，易于安装和维护。以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种用于固定道波长色散X荧光光谱仪的分光真空室，其特征在于其包括一个喇叭形的分光真空室壳体，所述壳体的侧壁上均匀地设置有二十个用于安装前狭缝的圆孔，所述圆孔的中轴线与所述壳体的中轴线汇聚于一点，且所述圆孔的中轴线与所述壳体的中轴线之间形成55°夹角。
2.如权利要求I所述的用于固定道波长色散X荧光光谱仪的分光真空室，其特征在于所述分光真空室壳体的一端开设有X射线管安装孔，另一端设置有光闸安装孔，所述光闸安装孔外部还设置有样品盒与自旋机构安装孔。
3.如权利要求2所述的用于固定道波长色散X荧光光谱仪的分光真空室，其特征在于所述分光真空室壳体的喇叭口连接有一个圆环平面，所述样品盒与自旋机构安装孔开设于所述圆环平面中心处。
4.如权利要求3所述的用于固定道波长色散X荧光光谱仪的分光真空室，其特征在于所述分光真空室壳体的喇叭口外径为320mm。
5.如权利要求3所述的用于固定道波长色散X荧光光谱仪的分光真空室，其特征在于所述圆环平面的外径为350mm。
6.如权利要求3所述的用于固定道波长色散X荧光光谱仪的分光真空室，其特征在于所述分光真空室壳体与所述圆环平面的总高度为120_。
全文摘要
本发明提出了一种用于固定道波长色散X荧光光谱仪的分光真空室，其包括一个喇叭形的分光真空室壳体，所述壳体的侧壁上均匀地设置有二十个用于安装前狭缝的圆孔，所述圆孔的中轴线与所述壳体的中轴线汇聚于一点，且所述圆孔的中轴线与所述壳体的中轴线之间形成55°夹角。本发明的光路参数和结构设计是相互结合、兼顾和优化的过程，既使仪器的性能得到保障，又使仪器的机械结构尺寸合理，故障率低，又便于维修和安装。
文档编号G01N23/223GK102928450SQ201210407339
公开日2013年2月13日 申请日期2012年10月23日 优先权日2012年10月23日
发明者刘友林, 杨东华 申请人:东莞市邦鑫伟业仪器有限公司